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테스, 태양전지 가스차단 장치 특허 취득

입력 : 2013-03-12 오전 10:29:09
[뉴스토마토 임애신기자] 테스(095610)는 12일 플렉시블 박막 태양전지의 가스 차단 장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
 
회사는 "이번 특허는 챔버 내로 유입되는 공정가스 또는 외부 공기를 배기 홀로 유도한 다음의 공정이 진행되는 것에 대한 것"이라며 "공정 가스나 외부 공기가 유입되는 것을 안정적으로 방지할 수 있다"고 설명했다.
 
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임애신 기자
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