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테스, 대면적 기판 처리 장치 특허권 취득

입력 : 2013-05-28 오전 10:47:11
[뉴스토마토 조아름기자] 테스(095610)는 대면적 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.
 
이 장치는 기판의 대면적화에 따른 반응 챔버의 공간적 제약을 제거할 수 있다.
 
테스는 "이번 특허기술 적용으로 신규장비 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
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조아름 기자
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